產品介紹
>半導體自動化 >自動化智慧製造
EFEM 整合系統
●FOUP 自動LUL
●對應多種產品 Panel/Wafer/Compound/Glass/Metal carrier Transfer
●使用Non-Contact Alignment精準補正對位 
●對應MAX WARPAGE±12mm產品進行移載
●移載產品vibration≦0.3G
●上下游製程INLINE串接
●General
Dimension (2 Loadport):(W)2530 x (L)3000 x (H)2315 mm 
Dimension (4 Loadport):(W)2530 x (L)4670 x (H)2315 mm 
Weight:220~300kg
Panel/Wafer Transfer Size:300x300 ~ 625x625 mm 
FOUP Loader:2 pcs/ 4 pcs
SECS/GEM:GEM200 / GEM300

●Power
控制系統負載:3P 208 VAC 50/60 Hz;75A  

●Non-Contact Alignment Ability
Detection Range:±12mm
Detection Accuracy:±0.2mm

●Transfer
Product Size:300x300 ~ 625x625 mm  
Product Type :Compound / Metal / Glass
UPH:100 pcs/hr
X Axis Accuracy:±0.2mm
Robot Y Axis Accuracy:±0.2mm
Robot Z Axis Accuracy:±0.2mm

●Quality
ESD:< 25V 
無塵等級:符合FS209 Class 100等級
Vibration:≦0.3G (RMS.)

●Safety
SEMI 認證:符合SEMI S2、S8、S10認證
設備結構認證:符合SEMI規範
Contrel Technology Co., Ltd. All Rights Reserved.
東捷關係企業
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