產品介紹
E-Rack 倉儲系統
●移載SEMI 300/600 FOUP
●對應最大重量80kg FOUP 移載/儲存
●SEMI S2認證
●N2 Purge function進行產品濕度管控
●可搭接高空移載系統，配置 SEMI E84 需求功能
●對應高空移載系統自動 LUL FOUP
●對應 AGV進行自動 LUL FOUP
●產品Q-Time 管控
●對應最大重量80kg FOUP 移載/儲存
●SEMI S2認證
●N2 Purge function進行產品濕度管控
●可搭接高空移載系統，配置 SEMI E84 需求功能
●對應高空移載系統自動 LUL FOUP
●對應 AGV進行自動 LUL FOUP
●產品Q-Time 管控
●General
Dimension : W3456 x L5570x H3012mm
Weight : 3000 kg
N2 Purge Stage : 2組
Capacity：10格儲位(含N2 儲位)
●Utility
控制系統負載：3P 208 VAC 50/60 Hz；75A
N2 : Pressure 6.5㎏/㎝² ，Capacity 500 Lpm
●Transfer
傳動方式 : AC馬達
回饋方式 : Sensor
X 軸行程：3610 mm
Y 軸行程： 870 mm
Z 軸行程：1700 mm
Reproducibility accuracy : ±0.2 mm
Dimension : W3456 x L5570x H3012mm
Weight : 3000 kg
N2 Purge Stage : 2組
Capacity：10格儲位(含N2 儲位)
●Utility
控制系統負載：3P 208 VAC 50/60 Hz；75A
N2 : Pressure 6.5㎏/㎝² ，Capacity 500 Lpm
●Transfer
傳動方式 : AC馬達
回饋方式 : Sensor
X 軸行程：3610 mm
Y 軸行程： 870 mm
Z 軸行程：1700 mm
Reproducibility accuracy : ±0.2 mm
