產品介紹
>半導體自動化 >自動化智慧製造
E-Rack 倉儲系統
●移載SEMI 300/600 FOUP
●對應最大重量80kg FOUP 移載/儲存
●SEMI S2認證
●N2 Purge  function進行產品濕度管控
●可搭接高空移載系統,配置 SEMI E84 需求功能
●對應高空移載系統自動 LUL FOUP
●對應 AGV進行自動 LUL FOUP
●產品Q-Time 管控
●General
Dimension :  W3456 x L5570x H3012mm 
Weight : 3000 kg 
N2  Purge Stage  :  2組
Capacity:10格儲位(含N2 儲位)

●Utility
控制系統負載:3P 208 VAC 50/60 Hz;75A  
N2  :  Pressure 6.5㎏/㎝² ,Capacity 500 Lpm  

●Transfer
傳動方式 : AC馬達
回饋方式 : Sensor
X 軸行程:3610 mm
Y 軸行程:   870 mm
Z 軸行程:1700 mm
Reproducibility  accuracy :  ±0.2 mm
Contrel Technology Co., Ltd. All Rights Reserved.
東捷關係企業
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