產品介紹
>半導體自動化 >自動化智慧製造
Magazine Stocker 倉儲系統
●移載與儲存MAG
●EL-MAP/ FCBGA /HFC BGA)2.同時對應多尺寸 MAG 移載/儲存(Matrix type /X4L-MAP/
●SEMI S2認證
●可搭接高空移載系統,配置 SEMI E84 對接功能
●對應高空移載系統自動FOUP LUL
●對應 AGV進行自動FOUP LUL
●產品Q -Time 管控
●手臂定時/定次水平校正檢測功能
●地震監控,地震強度 ≥ 5級立即停止移載
●General
Dimension:(W)2550 x (L)7400 x (H)2510 mm 
Weight:1350 kg
Payload:10 kg
Capacity:432 格儲位(Reject port 8格儲位 )
Magazine Size:(W)80~170 x (L)375 x (H)140 mm 

●Utility
控制系統負載:3P 208 VAC 50/60 Hz;75A
CDA:0.4~0.6MPa,450NL/min  

●Transfer
傳動方式:AC馬達
回饋方式:Sensor
X 軸行程:6000 mm
Y 軸行程:800 mm
Z 軸行程:1500 mm
Reproducibility:±0.2 mm
Positioning Accuracy:±1 mm

●Account Management
RFID:Tag
BCR:1D code or 2D code

●Quality
ESD:< 25V
無塵等級:符合FS209 Class 1000 等級
設備結構認證:符合SEMI規範
Contrel Technology Co., Ltd. All Rights Reserved.
東捷關係企業
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