產品介紹
>半導體自動化 >自動光學檢測
CT-Nano 多工光學檢測機
可處理高亮面材質
可應用於具穿透特性之材質
高解析能力,可量測 Pillar/Bump 高度≧ 2 μm、直徑≧ 15μm
高速性能,全域掃描 (針對12吋晶圓,UPH > 15 pcs/h 
2D + 3D multiple functions
FOV:15 x 15 mm
3D Height Resolution (μm):0.05
Repeatability (μm) (3σ):1
Accuracy (μm):0.2
Height Measurement Range (mm):0.25
Contrel Technology Co., Ltd. All Rights Reserved.
東捷關係企業
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