產品介紹
CT-Nano 多工光學檢測機
● 可處理高亮面材質
● 可應用於具穿透特性之材質
● 高解析能力，可量測 Pillar/Bump 高度≧ 2 μm、直徑≧ 15μm
● 高速性能，全域掃描 (針對12吋晶圓，UPH > 15 pcs/h
● 可應用於具穿透特性之材質
● 高解析能力，可量測 Pillar/Bump 高度≧ 2 μm、直徑≧ 15μm
● 高速性能，全域掃描 (針對12吋晶圓，UPH > 15 pcs/h
● 2D + 3D multiple functions
● FOV：15 x 15 mm
● 3D Height Resolution (μm)：0.05
● Repeatability (μm) (3σ)：1
● Accuracy (μm)：0.2
● Height Measurement Range (mm)：0.25
● FOV：15 x 15 mm
● 3D Height Resolution (μm)：0.05
● Repeatability (μm) (3σ)：1
● Accuracy (μm)：0.2
● Height Measurement Range (mm)：0.25
