產品介紹
>半導體自動化 >自動光學檢測
3D Camera 結構光立體相機
●可處理高亮面材質
●可應用於具穿透特性之材質
●高解析能力,可量測 Pillar/Bump 高度≧ 2 μm、直徑≧ 15μm
●高速性能,全域掃描 (針對12吋晶圓,UPH > 16 pcs/h
●Camera:7.1 M
●FOV:220 x 146 mm
●工作距離:420 mm
●XY解析度:68 μm
●Z解析度:1.5 μm
●量測深度:35 mm
Contrel Technology Co., Ltd. All Rights Reserved.
東捷關係企業
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